パワー半導体 テスターファミリー

MT100ファミリー:静(DC)特性パラメータをウエハ/チップから複雑なモジュール迄、広範囲な電圧電流範囲でテスト機能をカバーします。 MT200ファミリー:動(AC)特性パラメータテスト機能を追加し、動(AC)特性のみならず、動(AC)特性✛静(DC)特性一括テストも可能にしています。 MT300ファミリー:MT200の機能をそのままに、よりハイパワー・レンジでのユーザー要求を10KV/10KA迄実現します。

技術仕様

全てのデバイスに対応する 特徴あるテスター本体

弊テスター全てのユーザーI/Fを共通とし、市場要求に合った最新デバイス性能に追随しアップグレード出来る様、又、必要最小限のスペアパーツとメンテナンス履歴が装置改善へ反映出来る、テスター本体構成となっている事から、ユニークなテストフィクスチュア(治具)とも相まって、パワー半導体テストの場に、トータル運営コスト低減、高機能とフレキシビリティとを提供しています。

応用範囲

最適テスト性能 を提供

パワー・デバイステストに於いて、常に、最先端のユーザー要求を受け、絶え間ない性能改善の取り組みで、弊テスター性能機能向上が格段の進歩を遂げました。その一端が、LSI™テクノロジーに依る18 nHテスト環境実現で、DUTの最大SWスピードを伴う、諸特性確認を12ビット波形分解能で可能としています。

最先端オシロに組み込まれた ソフトウエア

高性能信号処理能力を持つTeledyne社製 LeCroy HDO6000Aオシロスコープのお陰で動特性に必要な諸データを12bits 350MHz で取り込むと同時に、全IEC60747に準拠した、弊社オリジナル・テストソフトウエアをも一体に組み込む事を可能としています。

テスト項目毎にコード化不要の 既成プログラム

テスターを使用する上で、マトリクス・スイッチの操作を含むテスト動作を規定する為のコード化は不要で、新規テストプログラム作成は、ユーザーパラメータに基づき規定フォームに必要事項を単に記入する事で進め得る事が可能です。テスト項目はIEC60747標準に準拠した既成リストから選択する形でテストステップ順に進める事で完成します。

20 nH以下 を達成

弊社が開発した特異技術 CREA LSITM でプローブコンタクトを構成する事で、極‟低Ls”化したフィクスチュア治具を実現でき、不安定になりがちな高di/dtデバイスに対し、安定したACテストを可能にしています。

半自動ハンドラー内蔵テスターによる 迅速テストプログラム策定

量産ラインに使うものと同じコンタクトプローブ治具(フィクスチュア)が使える弊社製半自動マニアルハンドラーにより生産ラインを止める事なく、新規デバイスのライン投入の為の事前セットアップを可能とします。

技術仕様

量産ラインを意図した テストシステム

量産ラインテストの要求を満足するフルテストシステムを準備しています。弊社との積極協業で、ハンドラー・プローバーを含む完全ターンキーシステムの標準的な提供を実現しています。それによりシステム組合せ時間、価格、性能へのメリットを各ユーザーに提供しています。

技術仕様